正置顯微鏡分析從極小的MEMS 傳感器到超大 XXL 晶圓，或甚至整塊平板顯微器，其間不會(huì)對(duì)樣品造成破壞。借助 300 mm 的橫向移動(dòng)距離和254 mm 的垂直深度，您可以在 Axio Imager Vario 下檢測(cè)大量樣品。一體化機(jī)柱設(shè)計(jì)確保了穩(wěn)定性。在超凈室內(nèi)檢測(cè)晶圓的應(yīng)用中 – Axio Imager Vario 已通過(guò) DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足潔超凈室等級(jí) 5 的要求。利用驅(qū)動(dòng) Z 軸的電動(dòng)馬達(dá)與自動(dòng)聚焦硬件確保自動(dòng)調(diào)整至更佳聚焦位置。
正置顯微鏡特點(diǎn)：
兩種手動(dòng)和一種電動(dòng)機(jī)柱（配有符合工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)的三個(gè)模式控制按鈕）可供選擇，充分利用顯微鏡300 mm 橫向與縱向移動(dòng)距離254 mm 垂直深度的優(yōu)勢(shì)。
Axio ImagerVario 能通過(guò)物鏡轉(zhuǎn)盤的上下移動(dòng)來(lái)聚焦樣品。這就意味著，即便是較重的樣品，也可以獲得高準(zhǔn)確聚焦精度和可重復(fù)性。
借助自動(dòng)聚焦硬件，您可以準(zhǔn)確快速地聚焦低對(duì)比度的反射樣品。
Axio ImagerVario 與 LSM 700 組合應(yīng)用，以高分辨率無(wú)接觸地分析敏感樣品。
Axio ImagerVario 已通過(guò) DIN EN ISO14644-1 標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足潔超凈室等級(jí) 5 的要求
?超凈室：
半導(dǎo)體制造與晶圓檢測(cè)需要在超凈室內(nèi)完成。根據(jù) DIN EN ISO 14644-1 標(biāo)準(zhǔn)，以每立方米的顆粒數(shù)量和大小將其劃分成不同等級(jí)。在超凈室應(yīng)用中，Axio Imager Vario 已通過(guò)此標(biāo)準(zhǔn)認(rèn)證，并滿足超凈室等級(jí) 5 的要求。超凈室 ISO 5 等級(jí)相當(dāng)于原 FED STD 209E（1992）標(biāo)準(zhǔn)的 100 級(jí)。超凈室套件中包含一個(gè) 7 孔物鏡轉(zhuǎn)盤、一個(gè)顆粒保護(hù)罩及一個(gè)防噴嚏保護(hù)罩。
