STK-6120 半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)特點(diǎn)： |
桌上型 |
適用于8”&12”晶圓 |
操作簡(jiǎn)便 |
STK-6120 半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)性能： |
晶圓收益 | ≥99.9% |
貼膜質(zhì)量 | 沒(méi)有氣泡（不包括灰塵顆粒氣泡） |
每小時(shí)產(chǎn)能 | 30~70片晶圓 |
更換產(chǎn)品時(shí)間 | ≤5分鐘 |
STK-6120 半自動(dòng)晶圓減薄前貼膜機(jī)規(guī)格參數(shù)： |
晶圓尺寸 | 8”& 12”晶圓 |
常規(guī)產(chǎn)品厚度 | 200 ~750微米 |
Bump產(chǎn)品厚度 | 晶圓 200～400微米 凸塊 50～200微米 |
晶圓翹曲 | ≤5mm |
晶圓種類(lèi) | 硅, 砷化鎵或其它 單平邊，V型缺口 |
膠膜種類(lèi) | 藍(lán)膜或者UV膜 寬度：240~340毫米 長(zhǎng)度：100米 厚度：0.05~0.2毫米 |
貼膜原理 | 防靜電滾輪貼膜 |
滾輪溫度 | 室溫～80攝氏度 |
貼膜動(dòng)作 | 自動(dòng)拉膜和貼膜 |
晶圓臺(tái)盤(pán) | 二合一特氟隆防靜電涂層接觸式臺(tái)盤(pán)，或硅膠臺(tái)盤(pán)臺(tái)盤(pán)溫度：室溫～100℃ |
裝卸方式 | 晶圓手動(dòng)放置與取出 |
防靜電控制 | 防靜電特氟隆涂層晶圓臺(tái)盤(pán)/防靜電貼膜滾輪/除靜電離子發(fā)生器 |
切割系統(tǒng) | 的手動(dòng)可調(diào)整環(huán)形切刀，適用于不同的晶圓外形， 刀頭帶獨(dú)立加熱機(jī)構(gòu)，無(wú)任何飛邊并省去修邊 的手動(dòng)直切刀，為省膜的設(shè)計(jì)；切割刀溫度：達(dá)150℃ |
晶圓定位 | 通用標(biāo)線(xiàn)/彈簧銷(xiāo)釘 |
控制單元 | 基于PLC 控制，并帶5.7”觸摸屏 |
安全防護(hù) | 配置緊急停機(jī)按鈕 |
電源電壓 | 相交流電220V,10A |
壓縮空氣 | 5公斤清潔干燥壓縮空氣,流量每分鐘2.5立方英尺 |
機(jī)器外殼 | 白色噴塑金屬外殼 |
體積 | 680毫米(寬)*900毫米(深)*600毫米(高) |
凈重 | 85公斤 |
