CF4氣體分析儀GASERA ONE 概述
GASERA ONE多氣體分析儀基于激光光聲光譜技術(shù)，擁有探測器和光源，廣泛應(yīng)用于科研、工業(yè)和其他領(lǐng)域；其中探測器是超高靈敏度的增強(qiáng)型懸臂梁光學(xué)麥克風(fēng)技術(shù)。
CF4氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、環(huán)境監(jiān)測及工業(yè)安全等領(lǐng)域。光聲光譜技術(shù)通過檢測氣體吸收光能后產(chǎn)生的聲信號(hào)，實(shí)現(xiàn)高靈敏度、高穩(wěn)定性的CF4濃度測量。
CF4氣體分析儀GASERA ONE-解決方案
通過選擇的光源類型，GASERA ONE適合多種應(yīng)用需求；
對于更復(fù)雜的測量方案，幾個(gè)GASERA ONE可聯(lián)用為應(yīng)用提供一個(gè)簡單解決方案。
CF4氣體分析儀GASERA ONE-操作
GASERA ONE為用戶提供了一個(gè)簡單而直觀的高分辨率顯示器和控制按鈕。此外，用戶可以通過智能手機(jī)，平板電腦或其它設(shè)備控制GASERA ONE。
CF4氣體分析儀GASERA ONE-技術(shù)
工作原理：激光光聲光譜
超靈敏MEMS懸臂梁傳感器光學(xué)麥克風(fēng)，耦合激光干涉儀測量懸臂梁微量位移
根據(jù)應(yīng)用需求配置光源，如靈敏度和氣體成分種類
合適的光源包括可調(diào)諧半導(dǎo)體激光器(TDL)，量子級，聯(lián)激光器(QCL)，外腔式量子級聯(lián)激光器(EC-QCL)，帶間級聯(lián)激光器，(ICL)，光學(xué)參量振蕩器 (OPO)，帶濾光片的寬帶紅外光源(NDIR)
氣室恒定溫度50℃
CF4氣體分析儀GASERA ONE-通用
19”3 U工業(yè)機(jī)箱，適用于全部臺(tái)式或機(jī)架固定安裝
尺寸：48.4cm W x 13.9cm H x 44cm D(19.1 In W x 5.5 in H x 17.3 in D)
重量：約13kg
內(nèi)置7”前置顯示器的嵌入式計(jì)算機(jī)
數(shù)據(jù)存儲(chǔ)容量足夠至少1年的連續(xù)監(jiān)測
總采氣量：10～30ml
后面板有四路氣體接口，兩路為采樣接口，配有粉塵顆粒物過濾器
供電：
輸入電壓：100～240VAC，50～60 Hz
輸入功率：100～200 W（根據(jù)具體要求而定）
通訊接口：Ethernet、USB
GASERA ONE可以通過智能手機(jī)，平板電腦,筆記本 電腦或另一個(gè)GASERA ONE來操作
CF4氣體分析儀GASERA ONE-環(huán)境
工作條件:
溫度范圍：0℃～ + 40℃
濕度：低于90%RH,無凝露
壓力范圍：大氣壓
防護(hù)等級：IP20(IEC 529)
儲(chǔ)存條件：
溫度范圍：-20℃～ + 60℃
采樣條件：
溫度：0～ + 49℃
濕度：無凝露
氣體流量：約1L/min
壓力：930mbar～1100mbar
微粒< 1μm
CF4氣體分析儀GASERA ONE-檢測參數(shù)
響應(yīng)時(shí)間：根據(jù)通道積分時(shí)間(C.I.T.)和氣體 置換周期，典型從5秒到幾分鐘
檢測限：0.1ppb
動(dòng)態(tài)量程：典型5級(100,000倍檢測限)
重復(fù)性：小于1%的測量值，在工作條件標(biāo)準(zhǔn)濃 度下
準(zhǔn)確度：取決于校準(zhǔn)濃度標(biāo)準(zhǔn)氣體的精度，典型2～5 %
溫度穩(wěn)定性：在溫度工作范圍內(nèi)無影響
壓力穩(wěn)定性：在壓力工作范圍內(nèi)無影響
