產(chǎn)品名稱:紅外氣體傳感器
產(chǎn)品型號(hào):Gasboard-2061
紅外氣體傳感器產(chǎn)品概述
紅外氣體傳感器產(chǎn)品特性
(1)使用NDIR技術(shù),多氣體監(jiān)測(cè)支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
(2)響應(yīng)時(shí)間快,高靈敏度
(3)無耗材
(4)模擬/數(shù)字通信
(5)模塊化設(shè)計(jì),便于集成
紅外氣體傳感器技術(shù)參數(shù)
檢測(cè)原理 | NDIR |
檢測(cè)氣體 | WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
重復(fù)性 | ±0.5% |
線性 | ±1%F.S. |
檢測(cè)限 | 1ppm |
應(yīng)用領(lǐng)域
半導(dǎo)體行業(yè)薄膜沉積工藝CVD設(shè)備的EPD氣體檢測(cè)