塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測過濾器是否泄漏，主要是為了避免空氣過濾器泄漏而影響到整個(gè)的生產(chǎn)。主要是檢測各點(diǎn)的懸浮粒子是否出潔凈區(qū)要求的范圍，如果是則有泄漏現(xiàn)象，需堵漏或更換。這也是比較簡單的的操作方法。過濾器安裝或更換后，必須對過濾器的安裝連接處進(jìn)行檢漏，以確保潔凈室的潔凈度符合要求。
塵埃粒子計(jì)數(shù)器檢測過濾器泄漏主要應(yīng)用的是光散射原理，計(jì)數(shù)測定時(shí)利用光電倍增管接受塵埃粒子反射的光以測定其大小和數(shù)量，并加以分析累計(jì)及數(shù)字顯示。實(shí)驗(yàn)前要求溫度控制在18—26℃ ;相對濕度控制在45—65%。室內(nèi)測試人員不得多于2人。針對室內(nèi)不同潔凈度房間而言，靜壓差≥5Pa，潔凈區(qū)與非潔凈區(qū)之問靜壓差≥10Pa;對工藝過程中產(chǎn)塵量大的房間與其他房間應(yīng)保持相對負(fù)壓。
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