真空體系的品種及作業(yè)狀況
　　
　　真空體系廣泛用于各種不同的工藝進(jìn)程，其品種非常繁復(fù)。按真空體系抽氣進(jìn)程的狀況來(lái)分，有兩大根本類(lèi)型，即開(kāi)式真空體系和閉式循環(huán)體系。
　　
　　開(kāi)式真空體系中有氣體活動(dòng)、遍地壓力不等，體系中各截面之間有壓力差，終一級(jí)真空泵將被抽氣體排到大氣中去。閉式真空體系的抽氣設(shè)備與被抽容器是封閉在一起的，剛開(kāi)始抽氣時(shí)體系內(nèi)也有壓力差，有氣體活動(dòng)，但到達(dá)動(dòng)態(tài)平衡時(shí).體系內(nèi)遍地的壓力簡(jiǎn)直持平，其主要特色是沒(méi)有氣體從體系中排出到體系外的大氣中去。
　　
　　按真空體系的作業(yè)壓強(qiáng)分，有粗真空體系、低真空體系、高真空體系、超高真空體系、*真空體系。
　　
　　按真空體系的清潔程度分:有油真空體系、無(wú)油真空體系。
　　
　　按被抽體系的結(jié)構(gòu)資料分:玻璃真空體系、金屬真空體系。
　　
　　因?yàn)槿藗兊牧?xí)氣.在實(shí)踐應(yīng)用中也常常把上述不同的分類(lèi)加以歸納，比如“大型動(dòng)態(tài)金屬高真空體系”、“無(wú)油超高真空體系”、“玻璃高真空體系”等.
　　
　　可見(jiàn)，上述分類(lèi)方法不是嚴(yán)厲不變的，往往結(jié)合真空體系的特色處以恰如其分的稱(chēng)號(hào)，可能更適用些。
　　
　　把真空體系加以分類(lèi)的意圖，在于找出同類(lèi)真空體系的特殊性，用以輔導(dǎo)各種真空體系的規(guī)劃、制作、裝配和運(yùn)用。
　　
　　射頻放電離子鍍裝置特色
　　
　?、僬趄v、離化和加快三種進(jìn)程可別離獨(dú)立操控。離化是靠射頻鼓勵(lì)，而不是靠加快直流電場(chǎng)鼓勵(lì)，基體周?chē)⒉话l(fā)生陰極暗區(qū)。
　　
　?、谏漕l離子鍍?cè)?0-3~10-1Pa高真空環(huán)境下也可安穩(wěn)放電作業(yè)，離化率高，可達(dá)5%-15%.提高了堆積粒子的總能蟹，改進(jìn)了鍍層的致密度和結(jié)晶的結(jié)構(gòu)。因而制備的鍍層外表缺點(diǎn)及針孔少，膜層質(zhì)量均勻致密，純度高.質(zhì)。特別對(duì)制備氧化膜和氮化膜等化合物膜非常有利。
　　
　　③易進(jìn)行活性反響離子鍍.組成化合物和對(duì)非金屬基體堆積具有優(yōu)勢(shì)。
　　
　?、芑w沮升低.操作方便，易于操控。
　　
　　射頻離子鍍的不足之處是:
　　
　?、僖?yàn)樵诟哒婵障洛兡?，堆積拉子受氣體粒子的碰撞散射較小，繞鍍性差。
　　
　　②射頻輻射對(duì)人體有損傷，有必要留意選用適宜的電源與負(fù)載的藕合匹配網(wǎng)絡(luò).一起要有杰出的接地，避免射預(yù)泄翻。另外，要有杰出的射振屏蔽，削減或避免射頻電源對(duì)側(cè)盆外表的攪擾。
　　
　　真空球閥在裝置時(shí)的留意事項(xiàng)
　　
　　①真空球閥應(yīng)寄存在枯燥室內(nèi).保持清潔。
　　
　?、陂L(zhǎng)時(shí)刻寄存的真空球閥，應(yīng)避免密封外表生銹.查看聚四氟乙烯密封圈外表有無(wú)擦毛、碰傷等缺點(diǎn)。
　　
　?、壅婵涨蜷y在裝置前，應(yīng)在仔細(xì)閱覽運(yùn)用說(shuō)明書(shū)的基礎(chǔ)上，做如下實(shí)驗(yàn):
　　
　　a.對(duì)電動(dòng)真空球閥接通換向閥電源.電壓為220V,查看換向閥的換向是否活絡(luò)。
　　
　　b.氣動(dòng)真空球閥以規(guī)則的氣度壓力0.4~0.6MPa的壓縮空氣將閥門(mén)進(jìn)行重復(fù)的開(kāi)啟和封閉.查看閥門(mén)啟閉動(dòng)作的時(shí)刻和活絡(luò)性。
　　
　　④裝置前，應(yīng)將真空球閥的內(nèi)腔和銜接面按真空要求進(jìn)行清潔處理。并將密封面涂上一層淡薄真空油脂，以削減密封圈與球閥體兩者之間的沖突.提高運(yùn)用壽命。
　　
　　⑤真空球閥裝置時(shí)，嚴(yán)厲按運(yùn)用說(shuō)明書(shū)規(guī)則的裝置程序進(jìn)行;裝置真空壓力球閥時(shí)，要將銜接法蘭的緊固螺栓擰緊。
　　
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