主要特點(diǎn)：

允許快速的、在原位無(wú)破壞性的、高分辨率的處理控制。

自動(dòng)激光對(duì)準(zhǔn)芯片技術(shù)，無(wú)需人工手動(dòng)調(diào)節(jié)。

設(shè)計(jì)小巧、緊湊；使用簡(jiǎn)便、舒適。

所有的功能可以在一臺(tái)計(jì)算機(jī)上進(jìn)行。

獨(dú)立的；適合大、小形狀各異的樣品。

樣品自動(dòng)進(jìn)場(chǎng)。

與標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算機(jī)串行端口連接（不需要接口卡）。

特殊的掃描儀設(shè)計(jì)，確保低震動(dòng)靈敏度。

技術(shù)參數(shù)：

easyScan2 AFM原子力顯微鏡：

1. 兩種可供選擇的原子力顯微鏡掃描頭

(1) 大掃描范圍

掃描范圍：X和Y方向110um x 110um

xy軸分辨率： 1.7nm

掃描范圍： Z方向20um

z軸分辨率： 0.34nm

Z噪音標(biāo)準(zhǔn)（RMS）： <0.4nm

(2) 高分辨率

掃描范圍：X和Y方向10um*10um

xy軸分辨率：0.15nm

掃描范圍：Z方向1.8um

z軸分辨率：0.027nm

Z噪音標(biāo)準(zhǔn)（RMS）：<0.07nm

掃描速度：1800個(gè)數(shù)據(jù)點(diǎn)/秒

傳感半徑： <15nm

典型負(fù)載： 10nN

掃描儀質(zhì)量：350g

反饋回路寬帶：3kHz

自動(dòng)進(jìn)場(chǎng)范圍：5mm

沒(méi)有使用危險(xiǎn)的高電壓

2. 電子控制器

數(shù)據(jù)采集時(shí)，可以和任何標(biāo)準(zhǔn)計(jì)算計(jì)串行端口連接

三個(gè)軸都有16位的數(shù)據(jù)收集與控制系統(tǒng)

軸輸出電壓：+12V

掃描速度：1-20分/框

1024樣品/直線

動(dòng)態(tài)頻率范圍：15-300KHz

動(dòng)態(tài)頻率分辨率：15-300KHz

外部電源

功率消耗量25VA

電子控制器質(zhì)量2.5kg

3. 軟件

軟件在Windows 操作系統(tǒng)上運(yùn)行

測(cè)量數(shù)據(jù)可以實(shí)現(xiàn)可視化

不同的窗體的掃描數(shù)據(jù)可以被同時(shí)顯示

線觀察，點(diǎn)觀察，三維觀察

在線數(shù)學(xué)計(jì)算功能（減，平均值等等）

類似于粗糙度（Ra，Rq）、頂點(diǎn)剖面、厚度、距離和幾何分析的數(shù)據(jù)分析

可以實(shí)現(xiàn)多數(shù)據(jù)輸出

定制顯示器、工作場(chǎng)所

安裝非常簡(jiǎn)便