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深圳市中圖儀器股份有限公司


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光學(xué)輪廓儀品牌非接觸式表面粗糙度自動(dòng)測(cè)量?jī)x器中圖儀器SuperViewW1

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更新時(shí)間：2023-02-04 08:51:04瀏覽次數(shù)：400次

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SuperViewW1光學(xué)輪廓儀品牌非接觸式表面粗糙度自動(dòng)測(cè)量?jī)x器采用非接觸式的方式

詳細(xì)介紹

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀品牌非接觸式表面粗糙度自動(dòng)測(cè)量?jī)x器采用非接觸式的方式，在檢測(cè)過(guò)程中不會(huì)劃傷器件表面，可廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造及封裝工藝檢測(cè)、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學(xué)加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中，測(cè)量各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級(jí)別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等參數(shù)。
 

結(jié)果組成

1、三維表面結(jié)構(gòu)：粗糙度，波紋度，表面結(jié)構(gòu)，缺陷分析，晶粒分析等；
2、二維圖像分析：距離，半徑，斜坡，格子圖，輪廓線等；
3、表界面測(cè)量：透明表面形貌，薄膜厚度，透明薄膜下的表面；
4、薄膜和厚膜的臺(tái)階高度測(cè)量；
5、劃痕形貌，摩擦磨損深度、寬度和體積定量測(cè)量；
6、微電子表面分析和MEMS表征。
 

部分參數(shù)

Z向分辨率：0.1nm
橫向分辨率(0.5λ/NA)：100X~2.5X：0.5um~3.7um
粗糙度RMS重復(fù)性：0.1nm
表面形貌重復(fù)性：0.1nm
臺(tái)階測(cè)量重復(fù)性：0.1% 1σ；準(zhǔn)確度：0.75%
 
SuperViewW1光學(xué)輪廓儀品牌
 

主要應(yīng)用領(lǐng)域

1、用于太陽(yáng)能電池測(cè)量；
2、用于半導(dǎo)體晶圓測(cè)量；
3、用于鍍膜玻璃的平整度（Flatness)測(cè)量；
4、用于機(jī)械部件的計(jì)量；
5、用于塑料，金屬和其他復(fù)合型材料工件的測(cè)量。
 

測(cè)量應(yīng)用

在3C領(lǐng)域，可以測(cè)量藍(lán)寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；
在LED行業(yè)，可以測(cè)量藍(lán)寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；
在光纖通信行業(yè)，可以測(cè)量光纖端面缺陷和粗糙度；
在集成電路行業(yè)，可以測(cè)量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行業(yè)，可以測(cè)量臺(tái)階高度和表面粗糙度；
在軍事領(lǐng)域，可以測(cè)量藍(lán)寶石觀察窗口表面粗糙度。

SuperViewW1光學(xué)輪廓儀品牌設(shè)備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺(tái)階高、角度等輪廓尺寸測(cè)量功能，分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結(jié)構(gòu)分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能。


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