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廣電計量檢測集團股份有限公司

12寸槽式清洗設(shè)備 芯矽科技

參考價 10000
訂貨量 ≥1
具體成交價以合同協(xié)議為準
  • 公司名稱蘇州芯矽電子科技有限公司
  • 品       牌其他品牌
  • 型       號
  • 所  在  地蘇州市
  • 廠商性質(zhì)生產(chǎn)廠家
  • 更新時間2025/7/8 16:27:39
  • 訪問次數(shù)19
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     蘇州芯矽電子科技有限公司是一家專業(yè)半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程,公司核心產(chǎn)品12寸全自動晶圓化學(xué)鍍設(shè)備,12寸全自動爐管/ Boat /石英清洗機已占據(jù)行業(yè)主導(dǎo)地位,已經(jīng)成功取得長江存儲 ,中芯國際,重慶華潤,上海華虹,上海積塔,上海格科,廣東粵芯,青島芯恩,廈門士蘭,南通捷捷,湖南楚微等主流8寸12寸Fab產(chǎn)線訂單,我們致力于為合作伙伴提供量身的工藝及設(shè)備解決方案。




專注半導(dǎo)體濕法設(shè)備制造公司,主要提供實驗室研發(fā)級到全自動量產(chǎn)級槽式清洗機,單片清洗機,高純化學(xué)品/研磨液供應(yīng)回收系統(tǒng)及工程
槽數(shù) 其他 超聲清洗頻率 定制
工作方式 定制 功率 定制
加工定制 類型 一體式
清洗溫度 定制℃ 適用領(lǐng)域 電子行業(yè)
外形尺寸 定制cm 用途 工業(yè)用
12寸槽式清洗設(shè)備是專為半導(dǎo)體晶圓設(shè)計的高效清洗解決方案,采用多槽分段式結(jié)構(gòu),支持酸堿清洗、漂洗、干燥等全流程自動化處理。設(shè)備兼容12英寸晶圓,可選配超聲波輔助清洗功能,深入清除表面顆粒、金屬污染及有機物殘留,確保納米級潔凈度。模塊化設(shè)計靈活適配不同工藝需求,無卡匣裝載提升效率,清洗液循環(huán)系統(tǒng)節(jié)能環(huán)保。
12寸槽式清洗設(shè)備 芯矽科技 產(chǎn)品信息

12寸槽式清洗設(shè)備是專為半導(dǎo)體晶圓制造設(shè)計的清洗設(shè)備,采用多槽分段式結(jié)構(gòu),集成酸堿清洗、漂洗、干燥等全流程工藝,適用于去除12英寸晶圓表面的顆粒、金屬污染及有機物殘留。設(shè)備廣泛應(yīng)用于制程中的擴散、蝕刻、光刻等工藝后的清洗需求,兼具高產(chǎn)能、高精度與低污染特點,是半導(dǎo)體制造產(chǎn)線的核心設(shè)備之一。

核心優(yōu)勢與特點

多槽分段式清洗結(jié)構(gòu)

設(shè)備采用多槽設(shè)計,每個槽體獨立控制,可實現(xiàn)酸堿清洗、有機溶劑清洗、漂洗、干燥等多道工藝步驟,確保晶圓表面污染物清除。

槽體材質(zhì)選用耐腐蝕性強的特種材料(如PFA、PTFE),避免清洗液腐蝕設(shè)備,延長使用壽命。

高效自動化與智能化控制

集成PLC與觸摸屏操作系統(tǒng),支持全自動清洗流程,減少人工干預(yù),提升生產(chǎn)效率和工藝穩(wěn)定性。

實時監(jiān)控清洗液狀態(tài)(如濃度、溫度、pH值),智能調(diào)整參數(shù),確保清洗效果一致性。

高精度清洗能力

可選配超聲波輔助清洗功能,通過高頻振動產(chǎn)生空化效應(yīng),深入晶圓微小縫隙,清除頑固污垢,滿足納米級潔凈度要求。

高純度清洗液循環(huán)系統(tǒng),避免二次污染,確保晶圓表面顆粒去除率≥99.9%,金屬污染≤0.1nm。

廣泛兼容性與靈活性

專為12英寸晶圓設(shè)計,兼容多尺寸晶圓(如8寸、6寸),適應(yīng)不同產(chǎn)線需求。

無卡匣(Cassette-less)設(shè)計,直接處理晶圓,提升裝載效率與空間利用率,適合大批量生產(chǎn)。

節(jié)能環(huán)保與低成本運營

清洗液循環(huán)利用系統(tǒng),減少化學(xué)試劑消耗,降低廢液處理成本。

高效加熱與冷卻模塊,優(yōu)化能源使用,符合綠色制造標(biāo)準。

安全可靠與易維護

配備緊急停機、漏電保護、氣體報警等安全功能,確保操作安全性。

關(guān)鍵部件模塊化設(shè)計,維護便捷,減少設(shè)備停機時間。

關(guān)鍵詞:清洗設(shè)備
15700106413
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