SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長爐

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更新時間：2022-09-10 13:07:14瀏覽次數(shù)：396次

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沈陽科晶自動化設備有限公司

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產(chǎn)品簡介

SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長爐

詳細介紹

產(chǎn)品簡介：SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長爐是一款采用4電弧的提拉法單晶生長爐（采用Ar氣電弧對樣品熔融，提拉裝置提拉），其溫度可達3000℃。腔體為304不銹鋼腔體（帶有水冷夾層），真空度可達10-5Torr.此款單晶爐特別適合生長高熔點的單晶，如Ti單晶，YSZ，SiC和CeRh2Si等等。

產(chǎn)品名稱	SP-MSM-4CZ四電弧提拉法單晶生長爐
技術參數(shù)	腔體	1、采用304不銹鋼腔體，帶有水冷夾層，可通入冷卻水 2、腔體上安裝有石英窗口，以便觀察樣品 3、腔體真空度：10-5Torr（采用分子泵） 4、腔體尺寸：Φ257*360mm
	真空計	1、腔體上安裝有數(shù)顯防腐真空計和機械壓力表
	電弧槍	1、共有4個電弧槍，可讓樣品得到均勻的溫場（電弧槍都帶有冷卻水） 2、鎢電極直徑為Φ4mm 3、電弧腔體對樣品的角度和距離可手動調(diào)節(jié) 4、起弧電源： 18 V / 185 A 電壓380V 5、熔煉溫度可達3000℃
	樣品臺	1、采用水冷銅坩堝 2、可投如樣品量為60g(按鐵計算)
	提拉機構	1、控制器控制提拉機構的提拉速度，轉速和轉速 2、提拉速度：0.2-10mm/h 3、提拉行程：0-70mm 4、轉速：0-40RPM
	控制單元	1、可顯示和設置單晶生長的參數(shù)（起弧電流，提拉桿轉速，提拉行程和轉速）
	真空泵	1、設備中配有一分子泵系統(tǒng)（機械泵+渦旋分子泵） 2、抽氣速率：100L/S 3、可使設備腔體的真空度達到10-5Torr(40分鐘內(nèi))
	循環(huán)水冷機	1、功率：800W 2、水流速度：58L/min 3、制冷能力：5004W（17500Btu/hour） 4、溫度控制：5~30°C
產(chǎn)品規(guī)格	設備尺寸：800mm（L）800mm（W）1500mm(H)