英國micro-epsilon capaNCDT6500系列電容式傳感器是一種多通道電容式位移測量系統(tǒng),提供亞納米分辨率、的溫度穩(wěn)定性和傳感器的快速切換,無需任何重新校準。
由于其高的分辨率和靈活性,該系統(tǒng)是研發(fā)應用、測試實驗室、質量保證、學術機構、半導體制造、軍事、航空航天和國防應用中需要亞微米和納米測量尺度的高精度位移、定位、厚度、間隙、漂移或蠕變測量的理想選擇。
capaNCDT 6500使用的主動驅動、密封的三軸射頻電纜,并與主動防護的三電極傳感器相結合。因此,該系統(tǒng)是防電子泄漏的,創(chuàng)造了一個受保護和均勻的測量場。這意味著用戶可以獲得穩(wěn)定、精確、無干擾的測量數(shù)據(jù)。
capaNCDT6500配備了一個24位分辨率的以太網(wǎng)或EtherCAT端口。每個測量通道都有一個的IP地址,因此測量數(shù)據(jù)可以很容易地輸出,然后通過網(wǎng)絡共享。由于測量信號是數(shù)字輸出的,與傳統(tǒng)的模擬系統(tǒng)相比,該系統(tǒng)在分辨率或測量精度方面沒有任何損失,信號甚至可以傳輸?shù)绞澜绲牧硪欢耍?/span>
英國micro-epsilon capaNCDT6500系列電容式傳感器四個優(yōu)點如下:
1)溫度穩(wěn)定性好
電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關,這有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,又因本身發(fā)熱極小,影響穩(wěn)定性甚微。而電阻傳感器有銅損,易發(fā)熱產(chǎn)生零漂。
2)結構簡單
電容式傳感器結構簡單,易于制造和保證高的精度,可以做得非常小巧,以實現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高溫,強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中,可以承受很大的溫度變化,承受高壓力,高沖擊,過載等;能測量超高溫和低壓差,也能對帶磁工作進行測量。
3)動態(tài)響應好
電容式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個10^(-5)N),需要的作用能量極小,又由于它的可動部分可以做得很小很薄,即質量很輕,因此其固有頻率很高,動態(tài)響應時間短,能在幾兆赫茲的頻率下工作,特別適用于動態(tài)測量。又由于其介質損耗小可以用較高頻率供電,因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數(shù)。
4)可以非接觸測量且靈敏度高
可非接觸測量回轉軸的振動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時,電容式傳感器具有平均效應,可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。
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