英國micro-epsilon capaNCDT6500系列電容式傳感器是一種多通道電容式位移測量系統(tǒng)，提供亞納米分辨率、的溫度穩(wěn)定性和傳感器的快速切換，無需任何重新校準。

由于其高的分辨率和靈活性，該系統(tǒng)是研發(fā)應用、測試實驗室、質量保證、學術機構、半導體制造、軍事、航空航天和國防應用中需要亞微米和納米測量尺度的高精度位移、定位、厚度、間隙、漂移或蠕變測量的理想選擇。

capaNCDT 6500使用的主動驅動、密封的三軸射頻電纜，并與主動防護的三電極傳感器相結合。因此，該系統(tǒng)是防電子泄漏的，創(chuàng)造了一個受保護和均勻的測量場。這意味著用戶可以獲得穩(wěn)定、精確、無干擾的測量數(shù)據(jù)。

capaNCDT6500配備了一個24位分辨率的以太網(wǎng)或EtherCAT端口。每個測量通道都有一個的IP地址，因此測量數(shù)據(jù)可以很容易地輸出，然后通過網(wǎng)絡共享。由于測量信號是數(shù)字輸出的，與傳統(tǒng)的模擬系統(tǒng)相比，該系統(tǒng)在分辨率或測量精度方面沒有任何損失，信號甚至可以傳輸?shù)绞澜绲牧硪欢耍?/span>

   英國micro-epsilon capaNCDT6500系列電容式傳感器四個優(yōu)點如下：

1)溫度穩(wěn)定性好

電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關，這有利于選擇溫度系數(shù)低的材料，又因本身發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性甚微。而電阻傳感器有銅損，易發(fā)熱產(chǎn)生零漂。

2)結構簡單

電容式傳感器結構簡單，易于制造和保證高的精度，可以做得非常小巧，以實現(xiàn)某些特殊的測量；能工作在高溫，強輻射及強磁場等惡劣的環(huán)境中，可以承受很大的溫度變化，承受高壓力，高沖擊，過載等；能測量超高溫和低壓差，也能對帶磁工作進行測量。

3)動態(tài)響應好

電容式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個10^(-5)N)，需要的作用能量極小，又由于它的可動部分可以做得很小很薄，即質量很輕，因此其固有頻率很高，動態(tài)響應時間短，能在幾兆赫茲的頻率下工作，特別適用于動態(tài)測量。又由于其介質損耗小可以用較高頻率供電，因此系統(tǒng)工作頻率高。它可用于測量高速變化的參數(shù)。

4)可以非接觸測量且靈敏度高

可非接觸測量回轉軸的振動或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等。當采用非接觸測量時，電容式傳感器具有平均效應，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響。

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